無(wú)論是固相反應(yīng)還是水合反應(yīng)，可利用摩擦產(chǎn)生的機(jī)械除去由于兩物體的接觸摩擦產(chǎn)生的界面局部反應(yīng)生成物來(lái)進(jìn)行加工。
 
這種形式的加工，由于界面反應(yīng)不會(huì)對(duì)刀具的材料硬度形成任何威脅。因此可使用比工件軟的材料作為加工介質(zhì)，這樣就有可能實(shí)現(xiàn)無(wú)損傷表面加工，機(jī)械化學(xué)拋光加工就是其中一例。
 
利用界面反應(yīng)進(jìn)行加工時(shí)，加工介質(zhì)可以是反應(yīng)性粉末、反應(yīng)性固體表面或者液體等。用機(jī)械能很容易地將反應(yīng)生成物從工件表面去除。每徹底去除一次，工件表面相應(yīng)地后退約5nm（反應(yīng)層深度約為5nm），在工件表面反復(fù)進(jìn)行這個(gè)步驟，工件表面的凸出部位就逐漸趨向平滑，從加工單位來(lái)看，最終可以加工出表面粗糙度為數(shù)納米以下的超精密表面，這樣的加工稱為界面反應(yīng)拋光。

 
在利用固相反應(yīng)的機(jī)械化學(xué)拋光中，加工介質(zhì)通常使用適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)性粉末。這主要是想要通過(guò)粉末所具有的高活性度及對(duì)工件表面的高接觸率來(lái)進(jìn)行界面反應(yīng)。因此機(jī)械化學(xué)拋光裝置與常規(guī)拋光裝置是相同的。
 
在水合拋光中，作為加工介質(zhì)的水是純凈水，這樣可避免由加工介質(zhì)所引起的加工面污染。因此，這種加工也稱為清潔加工。
 
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